MSCT
氮化硅探针
用于接触式、轻敲式或力的测量,高灵敏度,弹性系数极低;
每个基片有6个悬臂,弹性系数为0.01 - 0.50 N/m,有锐化处理,
包装数量:10根/盒
针尖参数
几何:各向异性
针尖高度 (h): 2.5 - 8.0µm
正面角(FA): 15 ± 2.5°
背面角(BA): 25 ± 2.5°
侧面角 (SA): 17.5 ± 2.5°
针尖曲率半径(Nom): 10nm
针尖曲率半径(Max): 40nm
针尖缩进 (TSB)(Nom): 4µm
针尖缩进范围 (TSB)(RNG): 0 - 7µm