主要用途：
具有高保真表面复现的表面粗糙度和轮廓的测量
精密位移测量
微机械零件的尺寸测量
冶金金相测量
振动测量
厚度测量
直线度, 平面度，弧度的测量
主要特点：
非接触式表面轮廓测量、反射性能的测量、垂直和横向的尺寸测量
唯一的通过透镜观测描绘被测物体表面特征的传感器
唯一的通过透镜观测描绘被测物体表面特征的传感器
微型化的传感器
分辨率1nm
可达2000µm大的测量范围
光斑直径< 1µm
适用已确定的制造业的几乎所有粗糙度测量体系
连续聚焦
主要优点：
在高保真轮廓复现下对3D结构进行快速的非接触式测量 测量结果与表面结构无关
数据采集和评估可归并到已有的软件中
具有可组装性，可组装到已有的系统中