一、 性能参数指标介绍：
1．工作条件：
电源：220V，1500W
环境温度：10℃～35℃
环境湿度： 10%～85%
2．仪器尺寸：172cm H x 77cm D x 81cm W
3．最大样品尺寸：H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm
4．最大样品重量：50kg
5．垂直分辨率：<0.15nm；（可测量出亚纳米级的表面结构）。
6．RMS重复性：0.03nm；（在测量超光滑平面的时候，多次测量的重复性非常好）。
7．台阶高度测量的精度：0.5%；（对高度测量的精确度可控制在0.5%以内）。
8．台阶高度测量的重复性：<0.12% 1σ；（对高度测量的重复性可控制在0.12%以内）。
9．光学分辨率：0.49um；（在使用50倍物镜的情况下，可分辨的最小尺寸为0.49um）。
10． 最大扫描速度：28.1um/s；（纵向扫描的速度可达28.1um/s）。
11． 垂直方向最大扫描范围：10mm，全量程闭环控制，无需缝合。（纵向最大的扫描长度为10mm，并且此测量为闭环控制测量，保证了测量的准确性）。
二、 购置此仪器的必要性：
由于航空铸造零件上，具有很多过渡曲面，采用探针式测量方法有很多的局限性。一是某些区域探针很难进入里面进行测量；二是探针式测量方法的精度达不到测量的要求。而采用白光干涉的测量方法只要光能入射并反射回来就可进行测量，不管是对曲面还是直面均可进行快速、高精度、高重复性测量。下面是NPFLEX仪器对各种零件测量的图片。