风机过滤机组（FFU）
FFU (英文全称Fan Filter Unit),中文称作“风机过滤机组”或“风机过滤单元”，也就是将风机和高效过滤器HEPA或超高效过滤器ULPA组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。FFU设有初，高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初，高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。
FFU应用场所：可模块化连接使用，广泛应用于层流与非层流洁净室，洁净工作台，洁净生产线，组装式洁净室和局部百级等场合。特别适合于组装成超净生产线，可根据工艺需要布置成单台使用，也可将多台串联形成100级流水装配线。
FFU特点：
高度低，系统设计时可节省气室空间；
箱体和高效过滤器采用分体式设计，安装更换高效更方便；
壳体可选用不锈钢，铝合金，冷板静电喷塑制作，抗腐蚀，防锈，美观大方；
内部装置扩散板，风压扩散均匀，出风面风速平均稳定；
特殊入风口，风道设计，降低压损与噪音的产生；
产品出厂前均按美国联邦标准209E，METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测，确保质量。