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详细信息 AWM2000 系列小流量 / 无放大气体流量传感器 特点: ● 双向气流传感 ● 实际气体质量流量传感 ● 流速0~30sccm 到0~1000sccm ● 需另加发热器控制及传感桥路供电电路 AWM2100V技术规格:10.0 ± 0.01VDC ● 流量范围(刻度):±200sccm ● 输出电压:30mV ● @标定点:@100sccm ● 零点漂移,type:+25 ~ -2508C +25 ~ +8508C ±0.2mV ● 输出电压漂移:+25~-2508C +2.5% 读数; +25 ~ +8508C -2.5% 读数 ● 重复性&迟滞 Max:±0.35% 读数 ● 电源(VDC)(1):Min8.0 10± Typ0.01 Max15 ● 功耗(mW):30 50 ● 零点电压(mV):-1.0 ● 反应时间(ms):1.0 ● 传感器电阻(KΩ)(1-2 脚, 1-6 脚):5 ● 工作温度:-25-8508C ● 储存温度:-40-9008C ● 冲击(5drops,6axis):100g 峰值 |