一、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列主要特性：
1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量
2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
3）在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
4）传感器的零点稳定度高
5）全量程高稳定性
6）全量程高精确度和优良的重复性
7）低功耗
8）低压损
9）响应时间快
二、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列典型应用：
适用于小流量气体质量的流量测量。
代理美国矽翔流量传感器FSG4003-1SLPM