R14 四氟化碳
用途：R14属于超低温制冷剂，可应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。
中文名：四氟化碳，四氟甲烷，氟利昂14
CASNo.：75-73-0
分子式：CF4
含量：99.999%
熔点：-183.6℃ ，沸点：-128.1℃，液体密度：（-130℃）1.613g/cm3，临界温度：-45.67℃，临界压力：3.73MPa，临界密度：7.1dm3/mol
包装;R14采用48.8L/钢瓶；10L/钢瓶包装