气相二氧化硅采用高度精制的原料，并通过严密的工序管理进行生产。为此气相二氧化硅是一种杂质极少的二氧化硅。
■高分散性
气相二氧化硅是通过高温水解反应制造的微粒子，带有蓬松的凝集现象。赋予适当的分散力就可以使其分散为直径小于可见光波长段（400-760nm）的细小粒子。比表面积大的气相二氧化硅可用于透明度要求高的树脂和弹性体。高度分散的气相二氧化硅不会影响树脂的透明度。
■高比表面积
通常，气相二氧化硅的比表面积为50-500 m2/g，其一次粒子的直径为5-50nm。由于是在气相中通过高温水解反应制得，所以是一种没有内部表面积的非晶质(无定形)二氧化硅。
■表面化学
气相二氧化硅的表面存在硅醇基（Si-OH基，通常在制造后不久为1.5个/nm2)。制造后不久的气相二氧化硅不含水分，但包装后会多少吸收一些大气中的水分。将表面硅醇基疏水处理的疏水性等级与没有疏水处理的亲水性等级相比，吸湿性是其1/10以下。根据不同的树脂分别使用亲水性等级和疏水性等级，可以获得所需要的粘度和流变特性。