物化性质：
熔点 -183.6℃，
沸点 -128.1℃，
液体密度（-130℃）1.613g/cm3，
临界温度 -45.67℃，
临界压力 3.73MPa，
临界密度 7.1dm3/mol，
在常温下，四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体，具有很高的稳定性，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水。属于完全不燃性气体。
应用及市场：
四氟化碳高纯气及其高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻；在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面也大量使用。
另外，近期研究发现，四氟化碳的溶氧性很好，可用于超深度潜水代替压缩空气，目前该试验已获得成功。