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三乙基硅烷，是一种无色透明的有机硅中间体。

易水解，放出乙醇，生成相应的缩合物。也可由硅粉在铜催化剂存在下，与乙醇反应来制取。用来合成有机硅中间体及各种硅烷偶联剂。也可以通过岐化反应制备高纯硅烷气体，或者用于制备有机-无机杂化材料。

三乙基硅烷有毒，存储过程中需要防潮。