该喷涂台适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪，搅拌器采用非金属材料制成，在喷涂过程中绝对没有金属杂质进入。
a、SiN搅拌器驱动方式：气动；
搅拌速度：0～300rpm无级可调；
b、蠕动泵驱动方式：气动；
泵送方式：压送；
c、溢流阀：溢流压力可调；
d、喷枪雾化锥度：可调；
出口压力：15～40psi
e、吹枪：出口压力：80～100psi；
f、气源供气压力：6～
g、脱模剂SiN粉末，粒度≤
h、纯水（用户自备）工业一级，符合GB/TII446.1-1997 EW-I要求；