品牌:BRUKER (原VEECO)
型号:NT9800
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Wyko NT9800是目前功能最强大的光学轮廓仪，可快速地测量台阶高度、表面粗糙度及一系列形貌参数。作为Veeco行业领先的第九代NT系列产品线的最高端产品，NT9800可对0.1nm至10毫米尺寸进行非接触式三维测量，并具有纳米量级的垂直分辨率。
具有定标功能的NT9800能够协助产前工艺及满足产品开发的需要，并可作为一个向量产过渡地稳定的，可靠的平台。
行业领先的Wyko Vision软件有超过200种的数据分析工具，包括自动序列测量、数据记录及及时反馈和SPC的合格/不合格标准评判。可选的数据分析包有膜厚分析软件（针对100nm以上的透明薄膜）。SureVision分析模板可便利地实现自动化，MATLAB界面可使工程师自行编程及整合用户分析算法。
