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等离子去光阻机图1

等离子去光阻机

2022-03-12 09:260询价
价格:未填
品牌:戈德尔
发货:3天内
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技术参数
 ◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)    650(W)×900(D)×1600(H)mm  ◆ 合金铝真空仓体(约100升)    450(W)×450(D)×450(H)mm  ◆ 电极结构    外置电感耦合电极  ◆ 等离子发生器(美国MKS)    频率13.56MHZ,功率0-1000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作  ◆ 控制系统    PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式  ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)    日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)    台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器           ◆ 充气系统    美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)    美国世伟洛克SWAGELOK气体管路及接口组件,德国双级减压阀    日本SMC及CKD高真空气阀组件
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