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微波等离子清洗机
2022-03-12 09:26
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发货:3天内
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产品特点
WB300采用专利高密度微波等离子技术,用于
半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理,微波等离子
高度活性、高效,且不会对电子装置产生离子损害。
微波等离子体系统是下列用途的理想方式:
等离子体表面改性
有机物表面等离子体清洁
邦定强度增强
等离子体刻蚀应用
等离子体灰化应用
增强或减弱浸润性
其它等离子体系统应用
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