Wyko NT 9100光学轮廓仪是一款便捷的、精确的、实用的非接触三维形貌测量系统。作为第九代系统,它采用已申请专利的双光源照明技术,同时实现了对超光滑表面和粗糙表面进行非接触表征,应用范围涵盖了亚纳米量级粗糙度测量到毫米尺度台阶高度测量。作为行业内最值得信赖的及重现性最好的桌面式机台,NT9100可满足研发、磨损分析、失效分析及工艺控制等领域的需求。
作为NT 9000光学轮廓仪系列的台式型号,NT9100具有许多和大型机台一样的优点,包括:测量设置简单易学,高速数据采集能力,强大的数据分析能力以及0.1纳米量级的测试重复精度。可选配的X-Y自动样品台使NT9100实现程序化,这是在Wyko桌面式轮廓仪系列的首次应用。
NT9100的量测性能与其他NT9000系列产品相当,但其较小的尺寸及灵活的配置为用户将来的发展提供了基础。系统包含了完整版的Vision分析软件,该软件是行业内功能最全的分析软件,可实现二维和三维的数据分析及可视化功能。Vision软件为用户提供了200余种分析工具,包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准。用户采用可选的MATLAB® 软件包还可以定制专门的数据分析用户界面。