采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量,评估和显示。装配不同的显微物镜,测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。
ACM 600 使用特殊的微透镜扫描盘,使采集的单个测量点相互平行。ACM 600目前是唯一商业化的采用微透镜扫描盘的仪器。与尼普科夫扫描盘相比,微透镜扫描盘使光学系统反应快速,所以即使暗淡的表面也能够获得良好的测量结果。它的另外的独特之处在于采用了LED作为光源,避免了使测量头发热,因而它的寿命几乎可以视为无限长。仪器配备了物镜切换盘,可以快速转换物镜。
检测物件的设定和测量全过程可以通过一个独立的监视器观察。测量软件基于Windows XP操作系统编制,并提供所有标准的评估程序。
仪器结构紧凑,耐用,特别适用于工业用途。在微透镜扫描盘自动伸出后,仪器可作为普通的显微物镜使用。
主要用途:
◆ 粗糙和光滑表面的测量和显示
◆ 亚微米范围内的微观形貌测量
◆ 金相测量
◆ 非接触式表面轮廓的计量
主要特点
◆ 0,1mm2到0,7mm2视场
◆ 采用钉合方式扩大视场
◆ 配置物镜切换盘
◆ 确定垂直分辨率来设定测量时间
◆ 横向分辨率可达1祄,垂直分辨率最高可到5 nm
◆ 具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统
◆ 全自动数据评估
◆ 实验室和在线两用设计
主要优点:
◆ 高保真轮廓复现,对物体三维结构快速,非接触式的定性和量化
◆ 测量结果与材料表面性能无关
◆ 根据用户需求配置系统和软件
◆ 无人干预全自动测量过程
◆ 将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用
◆ 采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描
软件:
◆ Windows XP 操作系统
◆ 测量和评估软件包括下列功能: 水平调整,图像缩放,轮廓线的提取,毛刺的剔除, 过滤, 数学计算,FFT,ACF,2D/3D 粗糙度参数,面积的测定, 斜度和波度的分布状态及其它。
◆ 用户特定要求的计算方法
技术数据:
|
|
光源 |
LED |
寿命 h |
> 50,000 |
采用步进电机时的测量范围mm |
50 |
采用压电执行器件时的测量范围µm |
100/150 |
最高垂直分辨率 nm |
5 |
最高横向分辨率µm |
1 |
工作距离mm |
0.66 |
视场µm |
370 x 280 |
256个高度台阶的测量时间s |
约 30 |
重量kg |
约12 |
测量工作台 |
|
X、Y、Z每轴位移mm |
50 |
最小步距µm |
1 |