硅片切割胶成分分析

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电火花线切割由于切割过程中不存在宏观切削力且具有大厚度切割的优势, 因此其具有大厚度、超薄切割等特点, 将成为太阳能硅片切割的一个研究热点。本文研究了高阻半导体材料的放电加工模型, 提出了电火花加工太阳能硅片的思路和工艺方法, 并首次对电阻率为2. 1 8#cm 的P 型太阳能硅锭进行了电火花线切割实验, 切割效率大于100 mm2/min, 且该方法在加工中不受硅晶体晶向的影响, 具有成本低、效率高的特点, 为下一步多线电火花线切割加工太阳能硅片奠定了技术基础。

作为光伏电池主要原料的太阳能硅片, 电阻率通常在1~ 10 8#cm 范围, 此电阻率范围的半导体材料虽然具有一定的导电性, 但它的电阻率要比金属材料高出3~ 4 个数量级, 且有其十分特殊的电性能, 在放电加工过程中由于接触势垒、体电阻等不利因素的存在, 钳制了放电回路的加工电流, 因此不能直接采用普通电火花线切割加工的方法。本课题组为此进行了深入研究, 首次提出了一系列高阻半导体材料电火花线切割的理论。