四氟化碳

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发货	山东菏泽市付款后3天内
规格	DOT/48.8 L、DOT/47L、40L、10L、4L
CAS 号	75-73-0
熔点	-183.6℃
过期	长期有效
更新	2015-05-17 14:42

山东锐华氟业有限公司

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山东-菏泽市
上次登录 2015-05-17 •
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详细说明

产品名称：四氟化碳

CAS 号：75-73-0

四氟化碳又称四氟甲烷，氟利昂14；
分子式CF₄；
物化性质：

熔点	-183.6℃
沸点	-128.1℃
液体密度	（-130℃）1.613g/cm³
临界温度	-45.67℃
临界压力	3.73MPa
临界密度	7.1dm3/mol

在常温下，四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体，具有很高的稳定性，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水。属于完全不燃性气体。

应用：
四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。

山东锐华氟业产品质量指标：

CF₄产品质量标准

项目	指标
CF₄，％（V/V）≥	99.999	99.995	99.99
N₂， 10^-6(V/V) ≤	4	20	40
O₂， 10^-6(V/V) ≤	1	5	10
CO₂， 10^-6(V/V) ≤	1	5	10
CO， 10^-6(V/V) ≤	0.3	0.5	1
SF₆， 10^-6(V/V) ≤	1	1	5
H₂O， 10^-6(V/V) ≤	1	5	10
HF， 10^-6(V/V) ≤	0.1	0.3	0.3
TFC(CH₂F₂、CHF₃、C₂F₃、C₃F₈)，10^-6(V/V) ≤	1	10	30
总杂质含量 ppm (V/V) ≤	10	50	100

产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装，满足不同用户需求。

钢瓶规格	DOT/48.8 L	DOT/47L	40L	10L	4L
瓶阀型号	CGA580（正丝） CGA590（反丝） CGA320 DISS716

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