泵浦组件
本系列为多段罗茨干式真空泵浦，泵浦内部是由一对多段式转子组成的，逐级压缩被 抽气体，从而提高能源的有效利用率，减少损耗；同时因转子为三叶转子使之旋转一周实现三次排气，从而提高了排气的稳定性，降低排气噪音。
转子由一对齿轮带动同步运转；齿轮、轴承以氟化油作为润滑剂，并通过唇形密封与 腔体分隔在一个单独的区域，故能使腔体保持在无油的工作状态。
冷却水
由于真空泵浦内压缩气体从真空状态到大气压力会产生热量，因此需要冷却水来保持马达与泵体在安全的工作范围之内。冷却水接头使用易于安装与拆卸的快速接头， 以方便现场人员的安装调试与检修。
排气端
在排气端安装有逆止阀，防止泵浦停止运转后排出的气体回流到真空腔体内。
控制系统
本系列干式真空泵浦装配有漏电断电开关（ELB）、马达启动控制回路。为了增强泵浦运转过程中的可靠与安全性，泵浦重要部位的温度都由感应器监控，并通过控 制面板对泵浦的实际运转状况实现实时显示，其中包括电力供应、冷却水流量、马达 线圈温度与马达电流值以及在运转过程中出现的异常状况的警告！
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