1 排气路径短,减少反应物沉积
2线性密封性佳,泵性能最优
3结构简单,故障率低,维修容易
4电机水冷设计,通过防爆认证,安全百分比
5 微电脑操作,远端监控,保护周全
上海汉钟干式真空泵 PS系列
包括机型 汉钟真空泵PS80 ,汉钟真空泵PS160,汉钟真空泵 PS180,汉钟真空泵 PS602,汉钟真空泵 PS902,汉钟真空泵 PS1302,汉钟真空泵 PS1802
台湾汉钟真空泵PS系列产品特点
螺旋真空泵浦产品特色
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。
泵浦温度控制精准
汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。
密封马达安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。
微电脑控制保护周全
PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。
1. 新品真空泵 :
台湾汉钟螺杆式干式真空泵(hanbell),新品真空泵有德国BECKER贝克系列真空泵,全新Edwards爱德华系列真空泵,具体品牌型号欢迎来电咨询。
2. 二手真空泵:
二手真空泵,有油式/干式/涡卷式/碳片式/冷冻式真空泵,真空系统设备等,具体欢迎咨询。
优势产品包括:
汉钟PS1802,汉钟PS1302,汉钟PS902,汉钟PS602,爱德华RV12,爱德华RV5,爱德华RV8,爱德华E2M18,爱德华E2M28,爱德华E2M40,爱德华E2M80,爱德华E2M275,贝克U4.100,贝克U4.40,贝克VT4.40,贝克VT4.8,纪维GWSP300,纪维GWSP600,纪维GWSP150,莱宝D65B,莱宝D16B,莱宝D25B,阿尔卡特2033,阿尔卡特2021,爱德华19号油,爱德华20号油,爱德华70号油,FOMBLIN25/6, FOMBLIN16/6,松村MR-200,松村MR-250,松村MR-100,杜邦1525,爱德华油雾过滤器等